サマリー

最新世代のX線蛍光分析顕微鏡XGT-7000は科学分析の新時代を切り開いた。それは光学画像と元素分析を完璧に結合し、科学研究者の研究と分析に新しい分析手段を提供した。

SDD検出器は高速、高精度の元素面走査を保証した、高エネルギー分解能、高計数率の測定であり、液体窒素を必要としない。

二重真空式設計により、ユーザーが数秒以内に試料室内部の雰囲気の切り替え（大気または真空）を完了できることを保証する。含水サンプル、生物サンプルを測定する場合でも、すべての元素の高感度を測定することができます。

独自のハードウェア設計により、XGT-7000オペレーションの柔軟性と広範な適用範囲が確保されます。マイクロからマクロまでを問わず、最適な測定条件が得られることを保証するために、x線カテーテルを10μmと1.2 mmの間で切り替えるようソフトウェアによって制御した。

X線カテーテルと同軸のCCDカメラは、関心領域を迅速かつ正確に位置決めすることができる。

・単一点及び多点自動分析

単一点および自動多点解析機能により、単一の解析位置からも、ユーザ定義の一連の位置からも、高品質なスペクトルを得ることができます。元素スペクトルのピークを自動的に表示できます。基本パラメータ法または単標試料基本パラメータ法または標準試料補正曲線法を用いて定量的に計算し、最低ppm級の含有量を測定することができる。膜厚分析ソフトウェアは、nm級またはμm級の試料の多層膜厚を分析することができる。

・高スペクトル面走査

SmartMapソフトウェアは、各ピクセルポイントで要素スペクトルを収集する。収集が終わった後、ユーザーは自分の分析に基づいて、ある要素面分布図を追加または削除し、既存のデータによるオフライン分析を実現することができる。

X線透過画像は、ユーザーがサンプル内部構造を観察し、真の非破壊内部観測を実現するのに有利である。

特徴

多くの革新的なXGT-7200は多くの分野で広く応用されている：電子電器、エンジン摩耗分析、法医学、地質鉱物、医薬、博物館、冶金、生物など。XGT-7200の柔軟な設計により、ユーザーが簡単な操作で高品質の分析結果を得ることができることを保証し、大領域を分析しても、マイクロ領域の詳細を分析しても、X線蛍光画像とX線透過像を同時に収集することができる。

*最高の空間解像度

HORIBA独自のX線光管技術は高空間分解能マイクロ領域XRF分析を提供し、X線スポットの直径は10ミクロン未満である。この最高強度の超微細スポットは、迅速で非破壊的な微細構造解析を行うことができる。

*X線透過像

同時にXRF画像とX線透過像を収集する機能は、肉眼では観察できない試料の内部構造と元素組成を分析するために使用することができる。超微細垂直X線ビームを用いて、平坦でない試料を観察しても明瞭な内部画像を得ることができる。

*二重真空モード

ユニークな2重真空モード設計-お互いの切り替えは数秒で完了します。

軽元素分析の高感度を保証するために、試料室全体が真空雰囲気にある全真空モード。

局所真空モード、サンプルは大気雰囲気中にあり、生物組織、文化財の破片、所蔵文化財などの含水サンプルの分析に適している。

*サンプル全体を完全に分析

*データ収集と分析を統合したオペレーションソフトウェア

インターフェースにやさしい操作ソフトウェアにより、ユーザーが便利にハードウェアを制御し、測定領域を選択し、全データ分析を行うことができます。機能は：スペクトルピークの自動定格、定性定量測定、RGB画像合成、線分析などを含む。大きなサイズの試料室は試料全体の分析を可能にし、10ミクロンビームスポットを用いて微小領域を10 cmx 10 cmまで測定する領域まで分析することができる。

技術パラメータ：

測定要素：

Na~U

X線管：

ロジウム（Rh）ターゲット／管電圧50 kV／管電流1 mA

X線蛍光検出器：

SDDシリコンドリフト検出器

X線透過検出器：

NaI（Ti）結晶

X線ダクト：

単毛細管10μm/100μmフィルタレス

光学画像：

サンプル全体の光学像及び同軸拡大画像

サンプルテーブルサイズ：

XY：100mm×100mm

サンプルビン：

全真空モード/最大真空300 mm×300 mm×80 mm

信号処理：

数値パルスプロセッサ（INCAプロセッサ）

定性分析：

スペクトルピーク/KLM線寸法/スペクトルピークルックアップ/スペクトルピークマッチングを自動的に定義する

定量分析：

無標識サンプル基本パラメータ法/標準無標識サンプル基本パラメータ法/標準ファイルマッチング基本パラメータ法/補正曲線/多層フィルム基本パラメータ法/多点分析（最大5000）/多点結果をExcelに出力®

面スキャン機能：

透過X線像/元素面分布図/スペクトル面走査/矩形面走査/生成スペクトル/RGB合成/スケール/線解析

その他の機能：

XGT-5200を同時に開くことができる操作ソフトウェア